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!}대출DB문의)--%텔레그램 howDB)|ㅡ!타켓추출DB판매_@ 용인 반도체클러스터 조감도. 연합뉴스 반도체 소부장(소재·부품·장비) 기업들이 대기업과 함께 기술을 개발하고 성능을 평가할 수 있는 ‘미니 팹’ 사업이 올해 본격적으로 시작된다. 그동안 “웨이퍼 구경하기도 힘들다”며 대기업과의 협력에 어려움을 호소했던 소부장 기업들이 이제는 시제품 분석부터 양산 테스트까지 미니 팹에서 진행할 수 있게 됐다. 29일 반도체 업계에 따르면 지난달 용인 반도체 클러스터 1기 팹의 착공과 함께 ‘트리니티 팹’ 공사도 막이 올랐다. 팹의 이름은 정부, 칩 제조 기업, 소부장 기업이 삼위일체(Trinity)가 돼 반도체산업의 경쟁력을 제고한다는 의미를 담아 지었다. 지난달 한국과학기술기획평가원이 제출한 ‘첨단반도체 양산연계형 미니 팹 기반 구축사업 예비타당성조사 보고서’에 따르면 트리니티 팹의 규모는 3300㎡ 면적의 11층 높이의 단일 층 클린룸으로 구성된다. 운영 시점은 2027년 5월 목표다. 클린룸 내부에는 노광·식각·확산·증착·세정 등 반도체 5대 공정별 장비와 극미세 공정에서 발생 가능한 오류를 잡아내는 계측 장비 등 40대가량의 장비가 들어선다. 12인치 웨이퍼 기반으로 최대 10나노미터(㎚·1㎚는 10억분의 1m) 공정 수준을 지원할 예정이다. ━ “대기업에 왜 정부 돈 지원?” 시각도 경기도 용인 반도체 클러스터 1기 팹 부지. 사진 SK하이닉스 트리니티팹 사업의 최종 사업비는 4469억원이다. 당초 기획보고서에서 추산한 총 사업비는 9060억원으로 국고에서 3930억원, 경기도·용인시 등 지방자치단체가 730억원, SK하이닉스가 4400억원을 분담하는 식이었다. 문영환 한국과학기술기획평가원(KISTEP) 부연구위원은 “사업비 산출 근거의 대부분이 영업 비밀에 해당해 적정 금액 추정이 어려워서, 민자 부담금은 총 사업비 산출에서 빠졌다”라고 설명했다. 사업비에 포함되지 않지만, 건물을 짓고 시설을 구축하는 데 들어가는 수천억 원의 비용은 SK하이닉스가 대부분 부담한다. 소부장의 숙원 사업이지만, 사업 예타 과정에서 일부 의견 대립도 있었다고 한다. 예비 타당성 조사 과정에 참여했던 한 반도체 업계 관계자는 “예타 과정에서 왜 재벌 기업에 정부 돈을 지원해줘야 하느냐는 반발이 제기됐다”라며 “어차피 대기업 시설이고, 이 팹을 쓰는 소부장 중소기업이 대기업에 납품하면 결국 대기업만 좋은